重分布层的理想Line/Space分辨率为1微米/1微米,换言之,重复对准光刻机(Stepper/Scanner)必须用作光刻曝光用途。这些系统的检视范围非常小,晶圆与载具精准的对位可确保对位键都能在曝光机窗口范围内。
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不过台积使用传统的浸润式步进机(stepper)生产7纳米,三星采用极紫外光(EUV)的微影制程生产,三星预计,争取到两家新客户之后,加上三星自家的Exynos处理器订单,三星的...
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stepper motor 步进电机 ; 步进马达 ; 步进电动机 ; 驱动方式
Movie Stepper 影片分节器 ; 动画分步
Stepper Motors 步进电机 ; 步进马达 ; 控制步进电机
idle air stepper 怠速空气步进马达 ; 怠速氛围步进马达
optical mask stepper 光学步进重复照相机
optical wafer stepper 步进式晶片曝光机
four-phase stepper motor 四相步进电动机 ; 四相步进电念头 ; 四相步进电机
optical stepper lithography 步进式曝光蚀刻
stepper aligner 步进重复对准器
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同义词: hoofer
同义词: stepping motor
同义词: high stepper
以上来源于: WordNet
N a person who or animal that steps, esp a horse or a dancer 大步行走的人(或动物,尤指马或舞者)
词组短语
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