而狭缝(slits)与子狭缝(sub-slits)则是以单步骤蚀刻形成，制程整合程序如下： 管线闸极铸模成形(下方部位)通道蚀刻(下方部位)牺牲层填入电洞；铸模成形(上方部位)；...
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double sub-wavelength slits 金属亚波长双缝
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