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tetramethyl ammonium hydroxide tmah

网络释义

  四甲基氢氧化铵

近年来一种新型各向异性腐蚀液,四甲基氢氧化铵(Tetramethyl Ammonium Hydroxide TMAH)引起人们较多兴趣。TMAH是一种碱性溶液, 能够各向异性腐蚀单晶硅, 不含金属离子, 无污染, 腐蚀速率和选择性比较高[

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有道翻译

tetramethyl ammonium hydroxide tmah

四甲基氢氧化铵

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