...频化、微型化、集成化的趋势,对频控器件技术带来了新机遇,也极大的促进了对薄膜体声波谐振器(Thin Film Bulk Acoustic Resonator,TFBAR)的研究和生产。在设计和开发这类产品时,如何精确控制谐振频率是研究薄膜体声波谐振器的出发点。
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