through-focus scanning optical microscope
...用相对廉 价的光学显微镜进行快速分析，测量灵敏度达到了纳米级。这项被称为离焦扫描光 学显微镜（Through-focus Scanning Optical Microscope，TSOM）成像的技术将在纳 米制造、半导体加工控制和生物技术等领域拥有广阔的发展前景。
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through-focus scanning optical microscope
通焦扫描光学显微镜
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