...ump）；低温吸附泵（Cryo Pump）；离子溅射泵（Ion Pump）；涡 轮分子泵（Turbo Pump）；钛升华泵（Titanium sublimation Pump） 高真空泵 扩散泵 低温吸附泵 离子溅射泵 涡轮分子泵 钛升华泵 工作 原理 扩散产生 的曳力 克克方程，低温冷 凝，低温吸附，低温...
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...受热直接 蒸发成蒸气(升华)后凝结在外套上(腔壁)以达到结拖抽气 之作用，此种帮浦称之为钛升华帮浦(titanium sublimation pump，TSP)。此种帮浦之压力工作范围在10 - 2 torr至10 -10 torr。
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