超小面积接触的机器手臂的终端操作器（Ultra Low Contact Area End-Effector），机器手臂终端操作支承与处理半导体晶圆或其他薄面基板，能最大限度地减低晶圆背面与机器手支承/夹持表面之间的关键接触处粒子的...
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ultra low contact area end-effector
超低接触面积末端执行器
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