• 超精密平台 - 引用次数：4

  Due to the expensive cost of zero expansion glass ceramic, the silica ceramic is a promising material for ultraprecision stage while the extreme performance is not pursued.

  零膨胀玻璃的造价昂贵,在不追求极端性能的情况下,石英陶瓷是一种非常有发展前途的超精密平台用先进结构材料。

  参考来源 - 大行程超精密工作台关键技术研究

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