Pulsed vacuum arc ion deposition 脉冲真空电弧离子镀
ZHOU S, YAN Y X. Structure and mechanical properties of DLC films by pulsed vacuum arc ion deposition[J]. Vacuum, 2005,42(2):15-18.
[12] 周顺，严一心。脉冲真空电弧离子镀在不锈钢上沉积类金刚石薄膜的研究[J]。真空，2005，42（2）：15-18。
Ion energy is an important parameter influencing the quality of films by pulsed vacuum arc ion deposition, so it is very necessary to measure the ion energy of pulsed arc.
离子能量是影响脉冲真空电弧离子镀镀膜质量的一个重要参数，因而测量真空电弧中离子的能量非常重要。
A technique - filtered vacuum arc ion coating for thin film deposition-is reviewed in this paper.
介绍了一种新的镀膜技术—过滤式真空电弧离子镀膜技术。
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