... vapor phase deposition: 汽相淀积 vapor phase diffusion: 汽相扩散 vapor phase epitaxial growth: 气相外延生长,汽相外延生长 ...
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Phase transition, enhanced diffusion and Y-Al alloy formation are studied using Y implantation with high current extracted from metal vapor vacuum arc (MEVVA) ion source.
利用金属蒸汽真空弧(MEVVA)源所产生的强束流离子注入铝研究了相变、增强扩散和钇铝合金的形成条件。
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