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variations in polysilicon etch rate

网络释义

  多晶硅刻蚀率的变化

多晶硅刻蚀率的变化(Variations in Polysilicon Etch Rate) – 扩散区相互影响 刻蚀速率与刻蚀窗的大小有关,导致隔离大的多 晶宽度小于隔离小的多晶宽度 均与周围环境有关 同类型扩散区相...

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有道翻译

variations in polysilicon etch rate

多晶硅蚀刻速率的变化

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