...试键(Test Key):新产品研发期间使用 WAT图形:放在划片槽内,作为硅片完成前道工序后的电 特性验收测试(Wafer Acceptance Test) 工艺监控图形(Process Monitor Pattern):用于监控 各次单步工艺的质量,如光刻工艺所需的线宽测试图形、 对准测试图形等。
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第三节 工业工程之相关文献 一、允收测试（Wafer Acceptance Test，WAT）的介绍 当积体电路的积极度增加，使得晶片的表面无法提供足够的面积来制作所需的内连 线（Interco...
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...表示，Agilent 4070系列高精密参数测试系统已获力晶半导体12M新厂采用，主要用来执行产品的晶圆参数测试(Wafer Acceptance Test，WAT)。
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