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wafer flatness

  • 晶圆平整度:衡量半导体晶圆表面平整度的指标,对于半导体制程和器件性能具有重要影响。

网络释义专业释义

  薄片平面度

... wafer flat 薄片取向面 wafer flatness 薄片平面度 wafer gettering 晶片吸除 ...

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  硅片表面不平度

硅片表面不平度

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短语

wafer r flatness 薄片平面度

  • 薄片平面度

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双语例句

  • A novel in-situ non-flatness measurement method of wafer stage mirrors in a step-and scan lithographic tool is presented.

    提出种新的步进扫描投影光刻机工件台方平度测量方法

    youdao

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