single wafer transfer system 单线螺纹
wafer automatic transfer system 晶圆自动传送系统 ; 晶圆对准
wafer r transfer system 晶片传送系统
The wafer transfer system (WTS) is the special equipment in the wafer production line, and it is used for transferring wafers automatically.
晶圆片倒片系统是晶圆片生产线的专用设备,用于自动转移晶圆片的工序。
参考来源 - 六英寸晶圆片倒片系统的设计、分析与测试·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
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