半导体工厂自动化 靠近下一道工艺设备最近的地方,通常称为轨道下方存储（under-track storage,UTS）或零占地面积存储（zero-footprint storag,ZFS）系统。UTS就象是线性分布的小stokcer,它可以随时被运走或放置到设备上。UTS使用了洁净室的部
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zero-footprint storag
零排放storag
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