本论文的主要内容为研究以氧化锌薄膜为有源层,制备氧化锌薄膜晶体管(ZnO-TFT),分别从氧化锌薄膜的厚度,利用不同材料进行界面修饰,以及有机无机复合等角度对氧化锌薄膜晶体管的电学性能进行了研究。
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