...衬底所在平面与靶面所处平面的夹角来改变所制备薄膜的晶相结构，这种制备方 法即所谓的掠射角沉积（glancing angle deposition），其原理在于阴影效应，即在薄 膜成核生长的过程中，正对着入射物质的方向将获得优先取向，而处于入射方向阴 影的部分将形成疏松...
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Glancing Angle deposition is a new technology for thin film preparation.
倾斜沉积是一种新型的薄膜沉积技术。
Sculptured thin film grown by glancing Angle deposition technique is a new type of engineered columnar thin films with anisotropy.
倾斜沉积技术制备的雕塑薄膜是一种新型的、具有各向异性结构的薄膜材料。
Relationship between refractive index and packing density of coatings prepared by glancing angle deposition is analyzed and three expressions are given firstly.
从理论上分析了单一膜料倾斜入射沉积时的折射率与填充密度的关系，给出了三种不同的表达式；
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