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ion-assisted electron-beam evaporation
离子辅助电子束蒸发
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High quality ITO films are prepared onto K9 glass substrates by oxygen ion-assisted electron beam reactive evaporation.
采用氧离子辅助电子束反应蒸发工艺在K9玻璃基底上制备了性能优异的ITO薄膜。
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