薄膜型超磁致伸缩微执行器的研究现状的论文_电力电气论文_中国论文网 关键词 超磁致伸缩 微执行器 薄膜 [gap=5843]key words: giant magnetostictive ; microactuator ; thin film
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electrostatic microactuator 微型静电致动器
Microactuator Array 微致动器阵列
thermal microactuator 微热致动器
photothermal microactuator 微型光热驱动机构
optothermal microactuator 微型光热驱动器
electrothermal microactuator 热执行器
electromagnetic microactuator 电磁型微驱动器
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