热灵敏度偏移(Thermal sensitivity shift) 由于周围温度变化而引起的灵敏度偏移。
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Several compensation methods of thermal sensitivity shift of polysilicon pressure sensor are introduced, whose principles and characteristics are discussed.
列举了几种多晶硅高温压力传感器的热灵敏度漂移补偿方法,并分别讨论了它们的原理及特点。
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