此外，ACuPLANE系统能够显著改善研磨后整个晶圆表面的形貌，并能降低晶圆上的应力以避免多孔的超低介电常数（ultra low-k）材质薄膜表面出现凹陷、腐蚀和脱层现象。
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ultra-low-k 介电系数 ; 及超低K
ultra low k dielectrics 超低k介质
ultra-low K dielectrics 超低介电常数材料
porous SiCOH ultra-low-k film 多孔SiCOH薄膜
ultra low-k
超性能
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The technology will be based on a planar process with enhanced high-K metal gate (HKMG), novel strained silicon, and low-resistance copper ultra-low-K interconnects.
该技术将基于一个具有增强的高- k金属闸（HKMG平面工艺），新型应变硅，低电阻铜超低K互连。
youdao
The U.K. government's response to ultra-low borrowing costs has been to ditch its debt target.
WSJ: Central Bankers' Change
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