常温红外线感测器(uncooled infrared sensor) 近。理论上使用热像仪器来，探测处于室温或略高于室温之物质，热像仪感应器 .
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Study on designing of sensor device's structures and whole reasonable fabrication process, which are two key issues of uncooled infrared bolometer that based on MEMS technique.
本论文对实现基于MEMS工艺技术的非制冷型红外测辐射热计的两个主要关键内容进行了深入研究，即敏感器件结构的设计和整个制造工艺流程的合理设计。
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