1.2.1 IC的前段制程(FEOL): MOSFET晶体管 20-21
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现今300毫米晶圆厂中，需要光阻及蚀刻残留清除的制作程序高达30道，其中约有一半属于前段制程(Front-End-Of-Line，FEOL)，其余则为后段制程(Back-End-Of-Line，BEOL)，整合了越来越多的铜金属双层镶嵌技术...
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中在前段制程 front-end process
前段制程
The front end of the process
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将液晶盒前段成盒制程从配向膜印刷到框胶固化结束所经历的时间分为五部分。
The period of pre-processing during liquid crystal cell assembly is divided into five parts from alignment film printing to sealant curing.
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