Chemical Mechanical Polishing
4 化学机械研磨技术 化学机械研磨技术(Chemical Mechanical Polishing, CMP),可 移除晶圆表面的材质,让晶圆表面变得更平坦,兼其有研磨性物 质的机械式研磨与酸碱溶液的化学式研磨...
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化学机械研磨技术(ChemicalMechanicalPolishing,CMP):兼其有研磨性物质的机械式研磨与酸碱溶液的化学式研磨两种作用,可以使晶圆表面达到全面性的平坦化,以利...
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