微执行器是现代自动控制技术的关键技术。近年来，随着微电子技术和微细加工工艺的快速发展，特别是微纳米技术的蓬勃兴起，为微执行器的开研究提供了有力的技术支持。本书共分9章，系统阐述和介绍了微执行器中电磁型微马达、光学执行器、微阀门、微型泵、生物微执行器、微机械执行器和化学执行器的基本原理、技术基础、制造工艺和应用实例。 本书可供从事自动化领域及微纳米技术研究的工程技术人员阅读参考，也可作为大专院校中相关专业师生的参考书。
薄膜型超磁致伸缩微执行器的研究现状的论文_电力电气论文_中国论文网 关键词 超磁致伸缩 微执行器 薄膜 [gap=5843]key words: giant magnetostictive ; microactuator ; thin film
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...系统、微传感器、微执行器、微机械技术 [gap=772]Key Words: Microelectromechanical systems, Micro sensors, Micro actuators, Micromachining technology ...
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This thesis probes to the modeling and simulating of one of MEMS devices --a magnet-driven microactuator with a multilevel meander magnetic core .
本文主要就是研究一种MEMS器件——多层弯曲磁芯结构的磁驱动微执行器并对其进行模拟分析。
参考来源 - 多层弯曲磁芯结构磁驱动微执行器的研究The displacement of the micro actuator is measured by using the stereo vision micromanipulation systems.
显微立体成像微操作系统上测试了二维微执行器的位移性能。
参考来源 - 柔性机构拓扑优化方法及其在微机电系统中的应用·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
在将来，这个机械装置也许会被其他微执行器或者控制策略代替。
This mechanism can be replaced by micro actuators or other control strategies in the future.
显微立体成像微操作系统上测试了二维微执行器的位移性能。
The displacement of the micro actuator is measured by using the stereo vision micromanipulation systems.
近年来，微传感器，微执行器和微机械部件得到了深入的研究。
In recent years, micro sensors, micro actuators, and micro mechanical components were lucubrated.
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