nitrogen trifluoride, nitrogen fluoride
标示: 中文名:三氟化氮 英文名:nitrogen trifluoride, nitrogen fluoride. 分子式:NF3 2、NF3气体物化特性 分子量:71 熔点:-206.8℃ 沸点:-129℃ 临界温度:-39.3℃,临界压力:44.02atm(4.46M
Nitrogen trifluoride Nitroglycerin
... 二氧化氮 Nitrogen dioxide 三氟化氮 Nitrogen trifluoride Nitroglycerin(NG) 硝基甲烷 Nitromethane ...
三氟化氮(nitrogen trifluoride)化学式NF₃,在常温下是一种无色、无臭、性质稳定的气体,是一种强氧化剂。三氟化氮在微电子工业中作为一种优良的等离子蚀刻气体,在离子蚀刻时裂解为活性氟离子,这些氟离子对硅和钨化合物,高纯三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性(对氧化硅和硅),它在蚀刻时,在蚀刻物表面不留任何残留物,是非常良好的清洗剂,同时在芯片制造、高能激光器方面得到了大量的运用。