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三氯氢硅生产法
翻译
Trichlorosilane production process
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双语例句
1
本发明多晶
硅
生产
领域,具体涉及改良西门子
法
中二级
三
氯
氢
硅
的处理方法。
The invention relates to the field of polysilicon production, in particular to a method for treating secondary trichlorosilane in an improved Siemens method.
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