低压化学气相沉积法

Low pressure chemical vapor deposition

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LPCVD
低压化学气相沉积法（LPCVD）生长的掺硼氧化锌（BZO）是一种可大规模工业化生产的高雾度透明导电膜，很适合应用于薄膜光伏太阳能电池的前电极或背电极。
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Low Pressure CVD
低压化学气相沉积法(low pressure CVD) 就是在进行薄膜沉积时，反应器内的气体压力调降到大约100torr以下的一种化学气相沉积反应。
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Low Pressure Chemical Vapor Deposition
... low power microscope 低倍显微镜 low pressure 低压 Low Pressure Chemical Vapor Deposition (LPCVD) 低压化学气相沉积法 ...

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