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光刻胶
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  • 双语例句
  • 1
    介绍了连续微光学元件在光刻上的面形控制方法。
    The method on profile - control of micro - optic element in photoresist was presented.
  • 2
    用熔融缩聚法含成的聚酯型光刻有较宽的分子量分布。
    The polyester type photoresists made by melt polycondensation have wide molecular weight distribution.
  • 3
    采用全息法制备了光刻光栅,并用该光栅掩膜离子蚀刻。
    Photoresist grating was fabricated by holography, and it was used in the mask of ion etching.
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  • 光刻胶

    光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一,特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展,更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。印刷工业是光刻胶应用的另一重要领域。1954 年由明斯克等人首先研究成功的聚乙烯醇肉桂酸脂就是用于印刷工业的,以后才用于电子工业。光刻胶是一种有机化合物,它被紫外光曝光后,在显影溶液中的溶解度会发生变化。硅片制造中所用的光刻胶以液态涂在硅片表面,而后被干燥成胶膜。

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