Soft Bake
... 三、光刻胶涂覆(Photoresist Coating) 四、前烘(Soft Bake) 四、对准(Alignment) ...
Assign Existing Bake Set
pre-etch bake
PREBREAK
光刻工艺的基本步骤之一,也被称为软烘。即在一定的温度下,使光刻胶膜里面的溶剂缓慢地、充分地逸出来,使光刻胶膜干燥。