alignment mark
小凹槽,称之为对准标记(Alignment Mark)。在物理气相沉积过程中,物理气相沉积工艺
registration mark
... 段落标记 paragraph mark 对准标记 registration marks 多级树状林拓扑结构 multiple-tree forest topology ...
photomask alignment aid
Justiermarkentechnologie
Register Mark
对准标记是置于掩模版和硅片上用于确定它们的位置和方向的可见图形。