planarization
平坦化 ( Planarization ):就字面上来解释, 平坦化 就是将表面原本凹凹凸凸的晶圆,加以处理使其平坦的方法。为什么需要 平坦化 ?
CMP
... Diffusion and Implant扩散及离子植入 Thin Film and Oxidation薄膜及氧化 CMP平坦化 ...
Flattening
序列化也称为“平坦化”(Flattening),或者“编组”(Marshalling),python用pickle和cPickle模块来执行序列化。
DSTI CMP
...介绍了化学机械平坦化及浅沟道隔离平坦化(STI CMP)的基本原理的基础上,通过对浅沟道隔离平坦化与直接浅沟道隔离平坦化(DSTI CMP)的比较,阐述了DSTI CMP的优点和必要性。