微加工

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bulk micromachining
这些技术支持两种加工方法：在硅底板上深度刻蚀以形成驱动部分的体微加工（Bulk Micromachining），在层叠于硅底板表面的膜上形成驱动部分的表面微加工。
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Micromaching
最近的研究表白微加工（Micromaching）为鼓动化学工程、材料工程、生物学、物理化学的前沿畅旺发财提供了壮健的工具。
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Microfabrication
...roactuators）、微机械（Micromachining）、微电器（Microelectronics）、激光学（Microoptics）以及微加工（Microfabrication），将成为新兴工业而取代若干传统工业，最终实现机电产品及仪器仪表工【作者单位】：浙江大学高技术现代光学中心!
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micromachining
...ed circuit; IC)工艺序列(例如，CMOS工艺、双极工艺、或BICMO 工艺)加以制造，而微机械元件则利用兼容的"微加工(micromachining)"工艺加以制造，所述"微加工"工艺通过有选择地蚀刻掉硅晶片的某些部分或者添加新结构层而形成机械及机电装置。

短语

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比如，现在有一种新型设备叫“微加工有机分析仪”，又称 M.O.A。
For example, there's a new instrument called the microfabricated organic analyzer, or M.O.A.
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微加工蔬菜的涂膜保鲜技术。
Edible film for micro-processing vegetables.
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介绍了准分子激光微加工的机理、特点和应用。
Mechanism, characteristic and application of excimer laser micromachining are introduced.

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