MEMS
微机电(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)是以微细加工技术为基础,将微传感器、微执行器和电子线路、微能源等有机组合在一起的微机电器件、装置或系...
CMOS-MEMS
『『 半导体半导体 -微机电微机电 (CMOS-MEMS)整合制整合制 程程 』』 暨暨 『『 电电 脑辅助微机电元件系统设计分析及制程模拟脑辅助微机电元件系统设计分析及制程模拟 』』 ...
Micro-Electro-Mechanical Systems
微机电(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)是以微细加工技术为基础,将微传感器、微执行器和电子线路、微能源等有机组合在一起的微机电器件、装置或系...
MEMS Module
( Electromagnetics Module)、热传导 (Heat Transfer Module)、微机电 (MEMS Module)和 地球物理 (Earth Science Module)等。