spin
以下说明SiOxNy ARCs无机材料所具有比 旋涂 ( spin-on )之有机材料之一些优点︰ * 光学常数值(n及k),可经由控制沉积参数微调(即可调之ARCs),以适用一些特定应用及光阻[3]。
Spin Coating
7-18 7-3 光阻涂盖 • 旋转式 的 旋涂 ( Spin Coating ): 厚度均匀. .
SOG ; Spin on glass
spin coater
旋涂是旋转涂抹法的简称,是有机发光二极管中常用的制备方法,主要有设备为匀胶机。旋涂法包括:配料,高速旋转,挥发成膜三个步骤,通过控制匀胶的时间,转速,滴液量以及所用溶液的浓度、粘度来控制成膜的厚度。电子工业中,基片垂直于自身表面的轴旋转,同时把液态涂覆材料涂覆在基片上的工艺。