SIOx
本文采用PECVD技术制备出的高折射率薄膜材料氮化硅(SiNx)、高激光损伤阈值薄膜材料氧化硅(SiOx)以及低折射率薄膜材料含氟氧化硅(SiOxFy)作为激光高反膜制备需要的薄膜材料,研究了SiNx材料、SiOx材料和SiOxFy材料的最佳制备工艺...
SiO
相比之下,其他硅基阳极锂离子电池技术使用硅纳米线或硅纳米颗粒,难以实现大规模生产且成本高昂;而其他使用氧化硅(SiO)作为石墨阳极微量添加剂的技术无法实现足够的性能改进。
[无化] silicon oxide
氧化硅(Silicon oxide)是目前最常见的绝缘材料,运用在几乎所有的CMOS芯片中;该种材料在1960年代首度特征化,工程师会刻意将氧化硅沉积出厚度,以避免...
Silicon dioxide
合肥工业大学学报杂志社 关键词:光学性能; 氧化硅; 光活性; 缺陷中心 [gap=1067]Key words:optical property; silicon dioxide; optical activity; defect center
二氧化硅(化学式:SiO2)是一种酸性氧化物,对应水化物为硅酸(H2SiO3)。二氧化硅是硅最重要的化合物。地球上存在的天然二氧化硅约占地壳质量的12%,其存在形态有结晶形和无定形两大类,统称硅石。