PVD
薄膜制备技术可以根据成膜的特点以及使用成膜材料的化学成分和物理化学性能分为以下几种[1]:物理气相沉积法(PVD):在物理蒸气沉积中,膜产生在固体表面上,是由元素和化合物从蒸气相凝结而成的,其原理一般为纯粹的物理效应,但有时也可以与化学效应...
physical vapor deposition
物理气相沉积法:物理气相沉积法 (Physical vapor deposition)是利用某种物理过程,如物质的蒸 发或在受到粒子轰击时物质表面原子的溅射等现象,实现物质原子从源物质到薄膜的可控转移的过程 ...
physical vaporous deosition
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chemical vaporous depositon
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Hot-Wall PVD ; Wall PVD