所谓半导体电子洁净车间，指的是洁净度在10万级标准以上的车间，主要是按照按照每一立方米空气中含有的0.5微米尘粒数计算。根据洁净度不同分为100级（小于3.5个），1000级（小于35个），10000级（小于350个），100000级（小于3500个）。