洁净度100级:大于等于0.5μm的尘粒数大于350粒/m3(0.35粒/L)到小于等于3500粒/m3(3.5粒/L)，大于等于5μm的尘粒数为0。 ≥0.5μm；0.35粒/L<尘粒数≤3.5粒/L≥5μm；尘粒数=0 洁净度1000级:大于等于0.5μm的尘粒数大于3500粒/m3(3.5粒/L)到小于等于35000粒/m3(35粒/L)，大于等于5μm的尘粒数小于等于300粒/m3(0.3粒/L)。≥0.5μm；0.35粒/L<尘粒数≤3.5粒/L≥5μm；尘粒数=0