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等离子处理
  • 简明
  • 1
    等离子处理:一种利用等离子体(高能电离气体)来处理物质的方法。等离子处理可以用于清洁、改变表面性质、杀菌等多种应用领域。
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  • 专业释义
短语
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  • 双语例句
  • 1
    在一个示范性实施例中,提供一种等离子处理室。
    In an exemplary embodiment, a plasma processing chamber is provided.
  • 2
    等离子处理室包括一个配置为容纳 基片的基片支撑件。
    The plasma processing chamber includes a substrate support configured to receive a substrate.
  • 3
    一种等离子生成装置,其配置为将等离子向下提供至等离子处理室。
    A plasma generation arrangement configured to provide plasma downstream to a plasma processing chamber.
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