step coverage
...(Silane) & TEOS (Tetraethyl Orthosilicate),但利用TEOS配合LPCVD來进 行沈积之氧化层,因其较佳之阶梯覆盖性 (Step Coverage),将为本制程所采用,但其 用來解離TEOS之温度偏高(650~750℃),可行 之解决方式有二:一为借由PECVD之电浆來将 TEOS解離,另一方...
cover
coverage(覆盖性), 此释义来源于网络辞典。
Coverage Testing
coverability tree
Coverability