deep uv rays
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xuv
由于平台区的存在,高次谐波可能是产生真空远紫外线(XUV)和软X射线的重要方法,因此引起人们极大的兴趣。
far ultraviolet rays
远紫外线
deep uv exposure
deep uv mask
deep uv lithography
远紫外线又称C波或杀菌紫外线。波长200-280nm的紫外辐射,主要用于消毒灭菌。其中以253-257nm波长紫外线杀菌效果最好。