diamond film
金刚石微型电子机械开关和微加速器的加工及其应用研究 - 工程材料-科研基金网 关键词:金刚石膜;微型金刚石机电系统;传感器 [gap=727]Keywords:Diamond Films;Microelectromechanical System;Sensor
diamond coating
WC-8.0%Co基底上微波等离子化学气相沉积金刚石膜 - TNMSC 关键字: WC-Co 刀具; 金刚石膜; 微波等离子化学气相沉积[gap=998]Key words: WC-8.0%Co tools; diamond coating; MPCVD
SAW
... 正温特性热敏电阻(PTC) 金刚石膜-声表面波器件(SAW) 铌酸钾晶体(KNbO3) ...
金刚石膜是指用低压或常压化学气相沉积(CVD)方法人工合成的金刚石膜。金刚石膜的制备方法有热化学气相沉积(TCVD)和等离子体化学气相沉积(PCVD)两大类。