Unbalance Magnetron Sputtering
...薄膜光学特性的重要因素，薄膜表面产生的散射损耗将影响薄膜的光学质量．采用非平衡磁控溅射（Unbalance Magnetron Sputtering，UBMS）和脉冲真空电弧沉积（Pulsed Vacuum Arc Deposition，PVAD）制备类金刚石...
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研究结果表明：1)采用非平衡磁控溅射(Unbalanced Magnetron Sputtering, UBMS)技术沉积DLC膜时,靶电流对界面层厚度的影响占主导地位；当靶基距从102mm增至162mm时,薄膜界...
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