方法应用闭合场非平衡磁控溅射(CFUBMS)方法在纯钛铸件表面制备TiN薄膜,显微硬度仪测量纯钛铸件表面硬度,磨擦磨损试验评估其耐磨性。
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closed-field unbalanced magnetron sputtering
闭合场非平衡磁控溅射（Closed-field Unbalanced Magnetron Sputtering，CFUMS） 技术的主要特点在于它是至少两个非平衡磁控管的组合，磁控管按照相邻磁极极性相反 的方式来组合工作，使...
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