Harrison 的电脑模拟采用双体碰撞近似(binary collision approxima tion, BCA)，双体碰撞近似主要应用于高能质点与表面碰撞的交互作 薄膜工程 周丽新 104 用，薄膜制程中离子能量...
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binary collision approxima tion
二元碰撞近似
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