共面波导开关
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coplanar waveguide switch
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The switch consists of two suspended metallic membranes supported by a serpentine flexible spring over a coplanar waveguide.
该开关的结构特点是，以共面波导上的悬空金属膜为双桥结构，并且膜桥的支撑呈折叠弹簧结构。
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