LIGA 与类LIGA 的制程介绍（1）光刻微影（Lithography）：同步辐 射X 光光刻术（Deep X-Ray Lithography）*、紫外光光刻微影术（Deep UV Lithography）、雷射（Excimer Laser Machine）、电浆（Deep RIE/ICP）；（2） 电子沉积（Electro...
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moving mask deep X-ray lithography 移动X射线光罩微影术
X-ray deep lithography X光深层光刻
deep x-ray lithography
深x射线光刻
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The fabrication of X-ray stencil silicon mask and its application in X-ray deep lithography are presented in this paper.
阐述了X射线镂空硅掩模的研制及其在同步辐射深层光刻中的应用。
youdao
The fabrication procedure of the mask and results of the deep X ray lithography are given.
给出了该掩模设计制作工艺过程及深x射线光刻结果。
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