...除，会导至晶圆表面的低接触电 阻形成层 ( l ow - resistance contact fo rm ation) 恶 化，并降低矽磊晶膜 ( epitaxial Si film) 及闸 极氧化 ( gate oxide) 的品质 ( 4 ) ，N at ive ox i d e的 存在与有机、金属等污染的的形成有密切关 系，其不规则的形态亦...
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epitaxial si film
外延硅薄膜
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