...的制造商都有提供基本的材料供给装置(feeder),但鳍状的材料供给装置(flipper feeder)与晶圆材料供给装置(expended wafer feeder)则是属于选用配备,expended wafer feeder是属于一种高速/低兼容性的组件处理方式,这点是可以被理解的,因为完整的晶圆在处置上...
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expended wafer feeder
膨胀圆片给料机
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